Back

ప్రాసెసింగ్

RF మాగ్నెట్రాన్ స్పుట్టరింగ్ సిస్టమ్

తయారు చేయండి

అడ్వాన్స్ ప్రాసెస్ టెక్నాలజీస్ ప్రైవేట్. లిమిటెడ్, పూణే, భారతదేశం

స్పెసిఫికేషన్లు

  • స్పుట్టరింగ్ లక్ష్యాలు: ZnO మరియు AZO
  • విద్యుత్ సరఫరా: 600W వరకు RF విద్యుత్ సరఫరా
  • సబ్‌స్ట్రేట్ హోల్డర్: సబ్‌స్ట్రేట్ హీటింగ్ కోసం ఇన్-బిల్ట్ హీటర్‌తో తిప్పవచ్చు
  • ఉపరితల పరిమాణం: గరిష్టంగా 50x50 mm
  • గ్యాస్ ఇన్‌పుట్‌లు: మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్‌లతో Ar మరియు O2
  • పంపింగ్ సిస్టమ్: స్క్రోల్ పంప్ మద్దతుతో టర్బో మాలిక్యులర్ పంప్

అప్లికేషన్

CIGS సౌర ఘటాల కోసం ZnO మరియు AZO లేయర్ స్పుట్టరింగ్.

వివరాలు

CIGS సోలార్ సెల్స్‌పై పారదర్శక ఫ్రంట్ కాంటాక్ట్ లేయర్‌లను తయారు చేయడం కోసం టాప్ డౌన్ డిపాజిషన్ కాన్ఫిగరేషన్‌తో RF స్పుట్టరింగ్ సిస్టమ్. ఇది ZnO మరియు అల్-డోప్డ్ ZnO (AZO) యొక్క సిరామిక్ లక్ష్యాలను కలిగి ఉన్న 2 మాగ్నెట్రాన్‌లను కలిగి ఉంది, ఇది వాక్యూమ్‌ను విచ్ఛిన్నం చేయకుండా రెండు పొరల వరుస నిక్షేపణను అనుమతిస్తుంది. సిస్టమ్ 50x50 mm పరిమాణం వరకు నమూనాలను కలిగి ఉంటుంది మరియు మెరుగైన పూత మందం ఏకరూపత కోసం తిప్పగలిగే సబ్‌స్ట్రేట్ హోల్డర్‌ను కలిగి ఉంటుంది. డిపాజిషన్ పవర్, ఛాంబర్ ప్రెజర్, గ్యాస్ ఫ్లో మరియు టార్గెట్ టు సబ్‌స్ట్రేట్ దూరం వంటి క్రిటికల్ డిపాజిషన్ పారామీటర్‌లను ప్రత్యేక సాఫ్ట్‌వేర్ సహాయంతో PC ద్వారా నియంత్రించవచ్చు.

కేంద్రం

సోలార్ ఎనర్జీ మెటీరియల్స్ కోసం కేంద్రం